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一,、用途
上海彼愛姆掃描電子顯微鏡U1510
二,、技術(shù)規(guī)格
上海彼愛姆掃描電子顯微鏡U1510
| 項目 | 內(nèi)容 |
| 二次電子分辨率 | 3.0nm（高真空,，30kV） |
| 背散射電子分辨率 | 4.0nm(低真空：6Pa，30kV） |
| 倍率 | 5～300,000X |
| 加速電圧 | 0.3～30 kV |
| 樣品臺 | X 0～80 mm |
| Y 0～40 mm,； | |
| Z 5～50 mm,； | |
| T -20°～ 90°； | |
| R 360° | |
| 樣品臺控制 | 手動（可選：2軸馬達(dá)） |
| ＊大載入樣品尺寸 | 直徑：153 mm |
| ＊大觀察范圍 | 直徑：126 mm（XYR并用） |
| ＊大樣品高度 | 60 mm（WD=15 mm） |
| 低真空范圍 | 6-270Pa(從菜單設(shè)定) |
| 燈絲 | 預(yù)對中鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 | 4孔可變光闌 |
| 槍偏壓 | 固定比例偏壓,、手動偏壓和自動4偏壓 |
| 檢測器 | 二次電子檢測器,，高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器 |
| EDX分析位置 | WD=15,TOA=35° |
| 真空系統(tǒng) | 分子泵1臺，機(jī)械泵1臺 |
| 安全措施 | 停電,，漏電,，自動保護(hù) |
